展商快訊 |中硅(山東)硅鋁新材料有限公司確定參展CAC2023廣州先進陶展,展位號:B402
中硅(山東)硅鋁新材料有限公司經過多年的科研攻關,已經攻克氣相法(CVD工藝)批量生產高純超細碳化硅粉的技術障礙,生產出的碳化硅微粉,屬3C相β型,純度達到3N-5N;顆粒均勻,粒徑主要分布在450-750nm,形態呈球狀;硅碳摩爾比近似1:1;因其在高濃度的氬氣和氫氣環境下生成,顆粒內部無氧。這種粉料是生產高端碳化硅器件的原料,器件在半導體制造工藝裝備中都有廣泛應用,如:研磨拋光吸盤、光刻吸盤、檢測吸盤、精密運動平臺、蝕刻環節的高純碳化硅部件、封裝檢測環節中精密運動系統等,其次,光伏硅生產用的碳化硅槳也
2023-03-09